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题目内容 (请给出正确答案)
[多选题]

MEMS分类的描述中,正确的是()。

A.特征尺寸通常是指集成电路中半导体器件的最大尺寸

B.特征尺寸在1mm-l0mm的为小型机械

C.特征尺寸在1um-1mm的为微型机构

D.特征尺寸在1nm-1um的为纳米机械

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下列关于病毒分类命名的叙述中,不正确的是()

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D、以上选项的描述均错误

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